与英特尔技术开发高级副总裁兼总经理Ann Kelleher就公司新的逻辑路线图、光刻、包装和工艺技术进行问答(Semiconductor Engineering)

四年五个工艺节点,高NA EUV,3D-ICs,芯片,混合结合,等等。–安·凯勒赫,高级副总裁。

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